超声换能器被广泛应用于医疗成像、工业无损检测、汽车超声波雷达等。基于体压电材料的传统超声换能器具有体积大、不易加工、低带宽等缺点，限制了其在很多高端智能系统以及消费电子的应用。针对以上迫切需求，MEMS技术为超声换能器的发展与应用注入了新的动力，在降低大批量生产成本的同时，实现了低功耗、小型化、一体化集成的高性能微型超声换能器（MUT）阵列。MUT把超声技术的应用推向了新的高度，实现了其在智能手机、汽车电子、智能家居、自动驾驶、机器人以及医疗器械等新兴领域的应用包括超声指纹识别传感器、XR/元宇宙的人机交互、即使诊断的超声成像设备、以及超声可穿戴等。本报告会侧重于介绍MUT的前沿进展包括其机理、工艺、系统集成、应用研究等。